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更新日期：2024-03-21
簡(jiǎn)要描述：
fcon觸摸屏式氣體混合器CUBE GM-Xα系列● 觸摸屏式氣體混合器（緩沖罐規(guī)格）[CUBEGM-Xα系列]是包含質(zhì)量流量控制器、控制電源、閥門、單向閥、氣體混合器、緩沖罐的單元型。● 程序運(yùn)行：可以通過設(shè)置每條線路的流量和時(shí)間來(lái)進(jìn)行程序運(yùn)行。● 報(bào)警功能：通過設(shè)置每條線路流量的上下限，當(dāng)出現(xiàn)流量異常時(shí)，發(fā)出報(bào)警聲。
fcon觸摸屏式氣體混合器CUBE GM-Xα系列
fcon觸摸屏式氣體混合器CUBE GM-Xα系列
| 產(chǎn)品名稱 | CUBE GM-Xα系列 |
|---|---|
| 尺寸 | CUBEGM-Xα2：W350×D400×H1100（mm）*對(duì)于油箱容量10L CUBEGM-Xα3：W430×D400×H1100（mm）*對(duì)于油箱容量10L CUBEGM-Xα4：W510×D400×H1100（mm）時(shí)容量為10L 注1）高度由罐容量決定。 注 2) 尺寸不包括突出部分。 |
| 輸入電源 | AC100V |
| 目前的消費(fèi) | 約 125VA * 安裝 3 個(gè)質(zhì)量流量控制器時(shí) |
| 流量范圍 | 1 行：FS10SCCM ~ 20SLM * 但是，混合氣體流量必須為 50SLM 或更少。 |
| 流量控制 | MFC：C1000系列或FCST1000系列 |
| 流量設(shè)定/輸出顯示 | 0-5VDC |
| 入口、出口閥 | 電磁閥 |
| 外漏 | ≦ 5 × 10 -7 Pa ? m 3 / sec He |
| 耐壓 | 0.5MPa |
| 氣體接觸材料質(zhì)量 | SUS316、PTFE、氟橡膠或氯丁橡膠 （FCST1000系列：磁性不銹鋼、氟橡膠或氯丁橡膠） |
| 管道連接 | 如需 1 / 4in.SWL（等效）和其他配件，請(qǐng)聯(lián)系我們。 |
| 使用環(huán)境 | 溫度：5 至 50°C 精度保證范圍：15 至 35°C 濕度 30 至 80%（無(wú)冷凝） |
| 配件 | AC 電纜 (2m)、使用說明書 |
