適用鎳，鉻，鎢，鈦，鋁等金屬涂布的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)

發(fā)布日期：2021-05-27      瀏覽次數(shù)：1168

適用鎳，鉻，鎢，鈦，鋁等金屬涂布的實(shí)驗(yàn)涂布機(jī)



特征


• 直流濺射類別中系列中小的超緊湊機(jī)型
• 配備皮拉尼真空計(jì)，以確保成膜條件的可重復(fù)性
• 配備手動(dòng)百葉窗作為標(biāo)準(zhǔn)裝備
• 使用的樣品臺(tái)和載物臺(tái)可以輕松更改TS之間的距離。
• 由于可以涂鎢，因此也可以用于制備高分辨率SEM的樣品。

應(yīng)用/結(jié)果示例

• 各種設(shè)備的電極膜附件
• 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用

基本規(guī)格


陰極	φ2英寸直流磁控管/平板型電極
適用對(duì)象	金/鉑/金-鈀/鉑-鈀/銀/鈀/鎢/鎳/鉬/鉻/鈦/鋁
壓力測(cè)量	皮拉尼真空計(jì)
壓力控制	針閥手動(dòng)控制 引入直徑外徑φ6mm一鍵式安裝
工藝氣體	氬氣
真空泵	直聯(lián)式旋轉(zhuǎn)泵：20L / min（帶自動(dòng)泄漏）
箱體尺寸	內(nèi)徑φ90×D90mm（SUS制）
樣品交換方法	前門(mén)開(kāi)合式
尺寸（寬/深/高）	機(jī)身：160/450 / 290mm RP：295.5 / 156 / 199.5mm
重量	身體：9公斤RP：9公斤