皮拉尼真空計TRP-11在半導(dǎo)體行業(yè)的運用
真空測量就是真空度的測量，而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史沿用下來的并不十分合理。壓力高意味著真空度低；反之，壓力低與真空度高相對應(yīng)。真空計（Vacuum Gauge），又名真空表就是依據(jù)各種原理制作成用來測量真空狀態(tài)下壓力大小的真空傳感器，由柵極、燈絲、收集極組成,其特征在于有上、下端柵的鼠籠式柵極，環(huán)形燈絲，與小子羊柵極長度的處于柵極內(nèi)部的短收集極的同軸組合結(jié)構(gòu)，并且利用真空連接管導(dǎo)。談到半導(dǎo)體技術(shù)，就繞不開真空行業(yè)。由于半導(dǎo)體制造與封測技術(shù)的復(fù)雜性，從晶圓裸片到芯片成品，中間需要經(jīng)過氧化、濺鍍、光刻、刻蝕、離子注入、以及封裝等上百道特殊的工藝步驟，其中多個步驟都離不開真空環(huán)境。就半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備而言，電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、激光、離子注入設(shè)備、離子刻蝕機、CVD、PECVD，PVD、分子束外延設(shè)備、集成電路封裝等等，均會用到中高真空，所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規(guī)，一般前級真空一個，本底和工藝監(jiān)控各一個，都選的是進口的真空計，皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等。
皮拉尼真空計TRP-11
特征
■可測量從5×10-2Pa到大氣壓的大范圍壓力
■數(shù)字電路顯著提高了溫度校正功能，實現(xiàn)了高精度。
■數(shù)字電路和燈絲結(jié)構(gòu)使其輕巧緊湊。
■壓力輸出比例DC 0至10 V（輸出分辨率14位），并且可以使用Log線性輸出通過數(shù)學(xué)公式轉(zhuǎn)換壓力。
■傳感器TRP-11由DC 12至30 V的電源電壓驅(qū)動，顯示器用于AC 100 至 240 V 范圍。 可能通過集成傳感器控制電路，可以在沒有電源指示燈的情況下使用，從而節(jié)省空間。
■標準配備 RS-485 數(shù)字通信，非常適合自動化。
■ATM（大氣壓）/VAC（高真空）可通過按鈕開關(guān)調(diào)節(jié)
■狀態(tài) LED 功能提高傳感器狀態(tài)的可視性
■各種過程中的壓力 非常適合監(jiān)控
■TRP-11SP（可選）配備 2 個設(shè)定點，可用作真空開關(guān)。
■使用內(nèi)置開關(guān)可以輕松設(shè)置設(shè)定點。
原理分析圖
