質(zhì)量流量控制器的原理與結(jié)構(gòu)

發(fā)布日期：2022-08-08      瀏覽次數(shù)：1812

質(zhì)量流量控制器的產(chǎn)品概述

質(zhì)量流量控制器通過(guò)測(cè)量流體的質(zhì)量流量來(lái)控制流量，因此無(wú)需對(duì)環(huán)境溫度或工作壓力的變化進(jìn)行補(bǔ)償，高精度穩(wěn)定的流體測(cè)量和控制是可能的裝置。在流量計(jì)、針閥等體積流量控制中，當(dāng)需要一定量的精確流量時(shí)，需要對(duì)溫度、壓力等的變化進(jìn)行補(bǔ)償。質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)用于半導(dǎo)體和平板顯示器等需要高精度流量測(cè)量和控制的領(lǐng)域，以及分析、燃料電池、液晶、有機(jī)EL、生物、培養(yǎng)、食品、環(huán)境測(cè)量、燃燒氣體，廣泛應(yīng)用于控制、工廠設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等所有過(guò)程和裝置。F-CON 的質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)是專門(mén)從事基本功能的低價(jià)產(chǎn)品，同時(shí)通過(guò)我們追求基本性能的技術(shù)降低成本并提高產(chǎn)品性能和可靠性，使其可用于廣泛的領(lǐng)域。我正在尋找制造。

質(zhì)量流量控制器的原理與結(jié)構(gòu)

質(zhì)量流量控制器的基本結(jié)構(gòu)由流量傳感器、旁路、閥門(mén)和控制電路組成，如下圖所示。

常用的傳感器稱為熱傳感器，其中電流施加到纏繞在不銹鋼毛細(xì)管上游和下游的電阻器上以產(chǎn)生熱量。當(dāng)沒(méi)有氣體流動(dòng)時(shí)，上游和下游電阻器熱量保持平衡，流量輸出信號(hào)指示為零。

從入口進(jìn)入的氣體被轉(zhuǎn)移到傳感器并旁路。當(dāng)氣體流入傳感器時(shí)，上下游電阻之間會(huì)產(chǎn)生溫差，導(dǎo)致熱平衡崩潰，傳感器的溫度分布發(fā)生變化。這種變化被橋式電路捕獲并作為流量輸出信號(hào)取出。然后，將外部輸入的流量設(shè)定信號(hào)與傳感器流量輸出信號(hào)進(jìn)行比較，流量控制閥進(jìn)行PID運(yùn)算（比例、積分、微分）使各自的信號(hào)電平匹配，閥門(mén)自動(dòng)自開(kāi)啟閥門(mén)的流量經(jīng)過(guò)微調(diào)，可以在設(shè)定的條件下始終控制流量穩(wěn)定的流量。



                                      ■ 質(zhì)量流量控制器的結(jié)構(gòu)







■ 關(guān)于流量傳感器的溫度分布

使用質(zhì)量流量控制器時(shí)的注意事項(xiàng)



●一般情況下，即使流量設(shè)置為零或強(qiáng)制關(guān)閉，質(zhì)量流量控制器也無(wú)法*關(guān)閉氣流。大多數(shù)質(zhì)量流量制造商基本上不保證控制流量范圍之外的控制。

●使用時(shí)，建議在質(zhì)量流量控制器前安裝閥門(mén)。這樣，可以使用質(zhì)量流量控制器來(lái)設(shè)定流量，通過(guò)打開(kāi)和關(guān)閉閥門(mén)可以打開(kāi)/關(guān)閉氣體。另外，質(zhì)量流量控制器的流量一經(jīng)設(shè)定就不會(huì)改變，所以總是再現(xiàn)相同的設(shè)定流量。

●即使在氣體流動(dòng)時(shí)流量頻繁變化，也建議安裝閥門(mén)以*切斷氣體流動(dòng)。

■左圖為閥配置流程示例。