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智能真空計(jì)SC-10簡(jiǎn)述
SC-10智能真空計(jì)是我們開(kāi)發(fā)的一種全新的方法，它是一種自動(dòng)真空計(jì)，可以同時(shí)測(cè)量殘余氣體成分和全壓真空度。
全壓真空是從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當(dāng)總壓達(dá)到50Pa左右時(shí)，氣體成分的分壓自動(dòng)啟動(dòng)，可以從10-5Pa左右測(cè)量到10- 6帕。
可以測(cè)量氣體成分并檢查粗壓區(qū)域的泄漏，這是傳統(tǒng)氣體分析儀無(wú)法做到的。
智能真空計(jì)SC-10原理
頻譜模式屏幕
SC-10 通過(guò)測(cè)量總壓力的冷陰極計(jì)的放電顏色來(lái)區(qū)分氣體成分。利用光的顏色（波長(zhǎng)）根據(jù)氣體成分而不同的事實(shí)來(lái)測(cè)量成分。在 SC-10 的光譜模式屏幕上也可以看到氣體成分的波長(zhǎng)。
由于氣體成分測(cè)量單元設(shè)置在大氣壓側(cè)，因此不會(huì)被真空中的氣體污染，可以進(jìn)行不受污垢影響的測(cè)量。此外，冷陰極規(guī)沒(méi)有燈絲，因此可用于堅(jiān)固耐用的應(yīng)用。
智能真空計(jì)SC-10操作使用
由于智能真空計(jì)可以測(cè)量殘余氣體的成分，因此可以快速了解真空裝置的良好狀況，例如排氣中途的泄漏和水蒸氣脫氣等。下兩圖是同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)，但圖一為正常排氣，以水蒸氣為主要成分，確定總壓真空度，而圖二中，氮?dú)鉃樾孤┧??？梢钥闯觯瑥拈_(kāi)始下降排氣約 5 分鐘后停止，如果繼續(xù)排氣，則在約 10 分鐘后氮?dú)饬孔兊帽人魵舛?，總壓力真空停止。通過(guò)使用智能真空計(jì)，您可以快速找出僅通過(guò)監(jiān)測(cè)全壓真空度無(wú)法理解的排氣異常及其原因。
圖1
圖 2
您不僅可以使用智能真空計(jì)找到泄漏點(diǎn)，還可以噴灑氦氣或氬氣來(lái)查找泄漏點(diǎn)。圖 3 顯示了智能真空計(jì)在泄漏點(diǎn)噴氬時(shí)的數(shù)據(jù)，但可以看出，由于氬氣增加和氮?dú)鉁p少，此處存在泄漏。停止泄漏后，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
圖 3
圖 4
只需打開(kāi)它并將其連接到您的PC，無(wú)需其他操作。SC-10內(nèi)置的全量程真空計(jì)測(cè)量從大氣壓到超高真空的總壓力，當(dāng)總壓力達(dá)到約50Pa時(shí)，自動(dòng)開(kāi)始?xì)埩魵怏w成分的測(cè)量（分壓測(cè)量）。
不用擔(dān)心，當(dāng)您恢復(fù)到大氣壓時(shí)，氣體成分測(cè)量會(huì)自動(dòng)關(guān)閉。
